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  光罩开盒器 DeskTop Reticle SMIF Pod Opener-POM 150R

  Fortrend POM-150R是一款自动的SMIFpod,设计用于打开150mm单个和多个光罩SMIFpod。当pod盖子被打开后,光罩片仍在pod table上,操作人员可以安全地操作。POM是专为tabletop应用而设计的全电动系统,可快速安装和拆卸。一种可选的专利基片测绘技术,能在基片处理过程中防止破损。带有操作联锁的rsticle突出传感器,防止pod关闭在突出的基片上。pod传感器检测SMIFpod的存在,防止错误地影响设备和fab之间的气流。

  光罩开盒器 DeskTp Reticle SMIF Pod Opener-POM 200R

  Fortrend POM-200R是一款自动的SMIFpod,设计用于打开200mm单个和多个光罩SMIFpod。当pod盖子被打开后,光罩片仍在pod table上,操作人员可以安全地操作。POM是专为tabletop应用而设计的全电动系统,可快速安装和拆卸。一种可选的专利基片测绘技术,能在基片处理过程中防止破损。带有操作联锁的rsticle突出传感器,防止pod关闭在突出的基片上。pod传感器检测SMIFpod的存在,防止错误地影响设备和fab之间的气流。

  光罩开盒器 DeskTop Reticle SMIF Pod Opener -PLM 200R

  Fortrend POM-150R是一款自动的SMIFpod,设计用于打开150mm单个和多个光罩SMIFpod。当pod盖子被打开后,光罩片仍在pod table上,操作人员可以安全地操作。POM是专为tabletop应用而设计的全电动系统,可快速安装和拆卸。一种可选的专利基片测绘技术,能在基片处理过程中防止破损。带有操作联锁的rsticle突出传感器,防止pod关闭在突出的基片上。pod传感器检测SMIFpod的存在,防止错误地影响设备和fab之间的气流。

  占地面积小,节省宝贵的厂房面积 1级洁净,主动自洁气流设计。 将晶圆盒置于密封的迷你环境中 所有电气系统均配有现场可编程应...

  富创得晶圆搬运机械手夹持式机器人 Standard ASR(Arm Scara Robot)

  应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)洁净室应用,ODM或OEM供应,单、双臂/多片型,快速精密运动机器人,Class 1 洁净度,多种末端执行器:伯努利吸爪 ,边缘夹持,可按需求进行定制。

  整机生产国产自主化,核心零部件专利自有 300mm Load Port内关键结构与设计均为富创得自主专利,设计与生产均在富创得自有生产基地内...

  富创得公司于1979年成立于美国硅谷,拥有超过40年的半导体行业经验 2016年6月被深圳大族激光集团收购,成立“上海大族富创得科技股份有限公司” 中国员工约300人,全球及中国专利约100余项,业务覆盖全球半导体行业 &bu...